Materiale și aplicații metalice cu film subțire

film

fotolitografia este o post-procesare uneori aplicat straturilor metalice obținute prin procese de vid. Este un proces de gravare utilizat pe scară largă în industria semiconductoarelor pentru fabricarea componentelor electronice. Această tehnică constă în utilizarea unei rășini fotosensibile, expunerea acesteia din urmă printr-o mască cromată, face posibilă producerea de modele pe o componentă plană.

Vom defini diferitele tehnici de fotolitografie

Fotolitografia „clasică”

Câțiva pași alcătuiesc procesul clasic de fotolitografie:

În prealabil se efectuează un depozit metalic (sau optic). Apoi suprafața este acoperită cu o rășină mai mult sau mai puțin vâscoasă prin tehnica de acoperire prin centrifugare (grosime care va depinde de viteza de gravare și grosimea stratului metalic)

Rășina este recoacută. Această rășină este apoi expusă prin radiații UV printr-o mască cromată care prezintă modelele

În funcție de natura rășinii (pozitivă sau negativă), fie partea expusă la UV este eliminată, fie invers. Aceasta este etapa revelației.